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垂直布里奇曼法(VB)爐

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  • 產品名稱:垂直布里奇曼法(VB)爐
  • 產品型號:
  • 產品展商:其它品牌
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簡單介紹

本設備主要用于氧化鎵(Ga2O3)單晶生長(無銥法),將原料放在垂直的坩堝內, 然后從坩堝頂部開始通過預設好的溫度梯度區作定向凝固。通過緩慢降溫而生長出單晶。 提供2英寸驗證工藝

產品描述

產品特點


? 產量: 2-6英寸 

? 極限溫度: 1850℃ 

? 加熱方式: 電阻/RF

? 自動化: 全自動化(除裝取料外) 

? 氣路: 3路

? 襯底: 2英寸 

? 單晶: 2英寸   高度:30mm 

? 純單晶, 沒有雜質, 電學性能不做保證 

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